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| 本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。 |
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＜K-359S1簡易型＞（製造中止）
２ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ〜４インチφ
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＜K-359S1簡易型＞
２ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ〜４インチφ
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＜K-359SＤ１＞
３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ〜６インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー
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＜K-359SＤ２＞
３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ〜８インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー
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＜K-359SＤ３＞
３ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ〜１２インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口
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＜共通試料台＞
サンプルサイズに合わせてオーダー承ります。
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