最大試料寸法	6インチφ
試料固定	真空吸着法
ＸＹ軸移動	150mm
Ｚ軸移動	8mm レバー式
θ軸移動	360°
針圧調整	ウエイト加減方式
寸法	W300×D420×H430mm
重量	約11kg