 |
menu▼ |
 |
|
| ＜マスクアライナー＞ Ｋ－４００ＰＳ９５ |
 |
| 露光源 |
超高圧水銀灯 |
| 露光面積 |
90mmφ |
| 照度 |
約11mW/c㎡以上 |
| マスクホルダー |
別途打ち合わせ |
| 顕微鏡ランプハウス |
個別回転移動式（手動） |
| X軸微動 |
10mm 500μm/1回転 |
| Y軸微動 |
10mm 500μm/1回転 |
| Z軸微動 |
10mm |
| θ軸微動 |
±10° |
| ランプシャッター開閉用タイマー |
0.1～999.9sec 減算表示4桁数字表示LEDタイマー |
| ランプ冷却ファン用ON/OFF遅延タイマー |
ON=水銀灯点灯当初暖気用0～5min
OFF=水銀灯消灯後冷却用0～30min |
| 寸法 |
W 1000×D 600×H 1400mm |
|
|
|
 |
| 顕微鏡 |
| ■SMZ800（同軸照明装置付き） 15×～94.5×ズーム |
| ■SMZ1000（同軸照明装置付き） 54×～540×ズーム |
| ■二視野顕微鏡（同軸照明装置付き） 100×,200× |
| 真空ポンプ |
| ■DA-30S(Ultimate pressure 200 Torr) |
|
|
|
|
