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| ＜マスクアライナー＞ Ｋ－３１１ＰＳ１００ |
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| 露光源及び照射ユニット |
ウシオ電機社製マルチライト
超高圧水銀灯
（インテグレート積分方式） |
| 照射経 |
100mmφ |
| 主波長 |
IIタイプ又はIGタイプ |
| 照度 |
25mW/c㎡以上 |
| 均一度 |
±5%以内 |
| 平行度 |
±１度以内 |
| マスクホルダー |
別途打ち合わせ |
| 顕微鏡ランプハウス |
個別回転移動式 |
アライメント用マニピュレーター
X,Y軸微動 |
10mm 500μm/1回転 |
アライメント用マニピュレーター
Z軸微動 |
10mm |
アライメント用マニピュレーター
θ軸微動 |
10° |
| ネガマスク及びサンプル同時移動 |
X,Y軸微動 100mm
2mm/1回転 |
| ランプシャッター開閉用タイマー |
0.1～999.9sec 減算表示4桁数字表示LEDタイマー |
| ランプ冷却ファン用ON/OFF遅延タイマー |
ON=水銀灯点灯当初暖気用0～5min
OFF=水銀灯消灯後冷却用0～30min |
| 寸法 |
W 730×D 530×H 850mm |
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| 顕微鏡 |
| ■SMZ800（同軸照明装置付き） 15×～94.5×ズーム |
| ■SMZ1000（同軸照明装置付き） 54×～540×ズーム |
| ■二視野顕微鏡（同軸照明装置付き） 100×,200× |
| 真空ポンプ |
| ■DA-30S(Ultimate pressure 200 Torr) |
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