最大試料寸法 6インチφ 試料固定 真空吸着法 試料台スライド 手前100mm引き出し可 試料台θ軸移動 360°±10°微動 試料台X,Y軸移動 150mm,2mm/1回転 20μm/1目盛り カードプローブホルダー 4.5インチ対応型 アームリング及びカードプローブホルダーZ軸移動 8mm電動、手動式両用 ダイヤルゲージ付き10μm/1目盛り 0〜100μm微動 アームリング及びカードプローブホルダーθ軸微動 ±10°微動 顕微鏡スタンド ポール外径24.5mmユニバーサルに水平移動が可能 電源入力 AC100V 1A 重量 約40kg 寸法 W 460×D 590×H 440mm オプション マニピュレーター・ホルダー・プローブ・顕微鏡・シールドケース等