<マイクロプローバー> K-160MPH/MWH |
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最大試料寸法 |
4インチφ |
試料台温度 |
常温〜300℃(温度設定用コントローラー付き) |
試料固定 |
真空吸着法 |
試料台スライド |
手前90mm引き出し可 |
試料台θ軸移動 |
±10° |
試料台X,Y軸移動 |
(K-160MPH)
40mm,500μm/1回転 5μm/1目盛り
(K-160MWH)
100mm,2mm/1回転 20μm/1目盛り |
試料台Z軸移動 |
10mm(k-160MPH)
※K-160MWHには試料台Z軸移動機能は付属しておりません。 |
アームリングZ軸移動 |
8mm |
アームリングZ軸微動 |
0〜100μm微動 |
顕微鏡スタンド |
ポール外径24.5mm |
重量 |
約19kg |
寸法 |
W 360×D 456×H 430mm |
オプション |
マニピュレーター・ホルダー・プローブ・顕微鏡・シールドケース等 |
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