最大試料寸法 6インチφ 試料固定 真空吸着法 試料台θ軸移動 360° 試料台X,Y軸移動 150mm アームリングZ軸移動 8mm 顕微鏡スタンド ポール外径24.5mm 重量 約11kg 寸法 W 260×D 518×H 370mm オプション マニピュレーター・ホルダー・プローブ・顕微鏡・シールドケース等