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| ＜スピンコーター＞ Ｋ－３５９Ｓ１ |
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| モーター |
安川電機社製プリントモーター75W |
| 回転数 |
200～6000rpm |
| 真空スイッチ開閉 |
ON460mmHg OFF400mmHg |
| 電源入力 |
AC100V 7A |
| タイマー |
0～999sec |
| ステップ数 |
プログラマブル2ステップ |
| 試料固定 |
真空吸着法 |
| 真空ポンプ配管ノズル |
外径6mmφ（左側面） |
| 最大試料寸法 |
ウェハー4インチφ |
| 受け皿 |
内径270mmφ SUS製 |
| 寸法 |
W 325×D 415×H 230mm |
| 重量 |
約17kg |
| オプション |
御指定型試料台、チャンバーカバー、真空ポンプ |
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