| ＜膜厚測定用ドリラー＞ Ｋ－６９Ｊ１５０ |
| 本器はスチールボールを研磨用治具に用い、スヘリカルドリル法に基づくSiのエピタクシャル層、又は拡散層の膜厚を高精度、且つ簡便に測定可能にした装置です。 |
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| モーター |
DC100V 25W 0.6A |
| 最大試料寸法 |
ウェハー6インチφ |
| 試料固定 |
真空吸着法 |
| ステージ水平回転 |
CW,CCW各180°/90°毎4ポイント |
| ステージＹ軸移動 |
150mm |
| ドリル深度設定 |
マイクロメーター設定 |
| ドリル圧力設定 |
ウエイト加減方式 |
| ドリル回転スピード |
1000～4000rpm |
| ドリルタイマー |
0.1～999.9sec 減算表示 |
| 電源入力 |
AC100V 3A |
| 寸法 |
W 475×D 280×H 275mm |
| 重量 |
約16kg |
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