| ＜マイクロプローバー＞ K-560RM400 |
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| 最大試料寸法 |
12インチφ/400□ |
| 試料固定 |
真空吸着法 |
| 試料台X軸移動 |
420mm,8mm/1回転 |
| 試料台Y軸移動 |
370mm,8mm/1回転 |
| カードプローブホルダー |
4.5インチ対応型 |
| アームリング及びカードプローブホルダーZ軸移動 |
5mm
0～100μm微動 |
| アームリング及びカードプローブホルダーθ軸微動 |
±10°微動 |
| 顕微鏡スタンド |
ポール外径24.5mm |
| 重量 |
約40kg |
| 寸法 |
W 560×D 670×H 330mm |
| オプション |
マニピュレーター・ホルダー・プローブ・顕微鏡・シールドケース等 |
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