| ＜ウェハーライフタイム測定装置＞ Ｋ−７２０LH2 |
本装置は共振回路を用いた新しいタイプのライフタイム測定器です。
シリコンウェハーのライフタイム測定器を非接触で容易に行うことが可能です。ご使用目的に応じたオシロスコープを選定することにより有効にその実力を発揮します。 |
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| ライフタイム測定範囲 |
1μS〜1000μS(1Ω・cm以上) |
| 分解能 |
20mmφ |
| RF周波数 |
40MHz |
| 照射光源 |
赤外LED |
| 測定可能サンプルサイズ |
20mmφ〜200mmφ t max=2.0mm |
| 寸法 |
W 260×D 470×H 290mm |
| 消費電力 |
AC100V 50W |
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